据TrendForce援引日经新闻的消息称，Rapidus从ASML订购的EUV光刻机预计将于12月中旬运抵日本。这标志着EUV技术在日本的首次部署，是日本半导体行业寻求确立主要地位的重要一步。

Rapidus目前正在北海道千岁市建设一座工厂，计划于2027年开始量产2纳米芯片。如果2纳米芯片生产成功，该公司还计划购买几台EUV设备，并打算建立第二个专门生产1.4纳米芯片的生产设施。 

为了支持这些业务，ASML将在千岁市建立一个服务中心。

英伟达公司首席执行官黄仁勋暗示有可能将人工智能芯片生产外包给Rapidus。截至10月，Rapidus工厂的施工进度已达63%，仍在按计划进行，该工厂于2023年9月开工。 

除Rapidus外，美光的广岛工厂计划于2025年安装EUV设备，并于2026年实现量产。 

台积电在日本的子公司JASM也计划在2027年将EUV光刻技术与第二家晶圆厂整合，该厂将拥有一条6纳米生产线。