ASML推出High NA EUV乐高套装 851个零件复刻全球最贵光刻机

光刻设备制造商ASML近日在其官网纪念品商城推出了一款特别的产品——HighNAEUV光刻系统TWINSCANEXE:5000的乐高模型套装。该模型的定价为227.95美元，约合人民币1653元。

这款乐高模型由ASML的员工兼乐高爱好者RickLenssen设计，包含851个零件，尺寸为宽352mm、高99mm、深64mm，精确复刻了TWINSCANEXE:5000的外观。

HighNAEUV光刻机是全球首款采用0.55NA数值孔径的光刻机，分辨率达到8nm，成像对比度比之前的NXE系列0.33NAEUV系统高出40%，支持2nm逻辑节点图案化，单价高达3.5亿欧元。

RickLenssen此前曾花费2.5年时间（1.5年设计蓝图、1年实际组装）用乐高积木复现了ASML的费尔德霍芬主园区，并推出过多款ASML主题的乐高套装产品。