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【光刻机概念表现活跃 波长光电涨超13%】11月13日电,光刻机概念表现活跃,波长光电涨超13%,张江高科、新莱应材、海立股份、茂莱光学、富创精密跟涨。消息面上,佳能宣布,将于2026年12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF(氟化氪)扫描式半导体光刻机FPA-6400ES6a。通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间,这款KrF扫描式半导体光刻机新产品具备每小时400片晶圆的高产能。
盘面直播 🕐 2026-11-13 10:04

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